以光为媒，以电为芯
一站式微纳晶圆代工 · 光电子器件定制服务商
产品中心
四大产品线矩阵，覆盖无源光学器件、硅基生物芯片、MEMS 半导体定制代工与 VCSEL 激光器一站式委托加工
🔬 无源光学器件
依托石英高精度微纳加工能力，自研二元光学衍射元件、微透镜阵列，覆盖深紫外（DUV）、可见光、红外全波段，适配半导体光刻、激光微加工、光通信、红外成像、医疗激光设备。
🧬 硅基生物芯片
融合半导体 MEMS 微加工与生物检测技术，面向体外诊断、透皮给药、细胞分析、可穿戴传感领域。
⚙️ MEMS & 半导体芯片定制代工
覆盖 MEMS 传感器与执行器、第三代宽禁带半导体器件、硅基/石英光波导及全品类微纳器件定制。
💡 VCSEL 激光器一站式委托加工
垂直腔面发射激光器全链条代工，覆盖原材料采购、晶圆制造、光学设计、模组组装全流程管控。
七大核心优势
从设计到交付，一站式微纳加工闭环服务体系，省去多厂商对接成本
全品类微纳加工全覆盖
覆盖 MEMS、第三代半导体、光波导、VCSEL 等全部代工业务，叠加自研光学与生物芯片
4/6/8 英寸洁净产线
顶配进口设备集群，兼容研发打样与大规模量产
MEMS + 光学双技术团队
深耕微纳加工十余年，兼具半导体与光学双重技术储备，一对一专属对接
一站式闭环服务
芯片方案设计→掩膜版制作→光刻/刻蚀/镀膜→晶圆键合→划片封装→电学/光学检测
现货 + 定制双业务体系
常备现货满足快速需求，同时支持全参数定制开发
知识产权保密管控
签署 NDA 协议，封闭式洁净产线分区独立生产，专属物流，全方位保障客户产权
高效交付 + 品质管控
24 小时响应，ISO 9001 质量管理体系管控，保障按期交付优质产品
全系列微纳加工工艺
7 大工艺体系，29 台套刻蚀设备 + 完整光刻线 + 镀膜封装检测集群，全兼容 8 英寸及以下晶圆
电子束光刻 (EBL)
JEOL / Raith 电子束光刻机
步进光刻
高精度步进式曝光系统
接触 / 接近式光刻
EVG 高精度对准光刻系统
纳米压印
全自动涂胶显影机组
深硅刻蚀 (DRIE)
SPTS 高深度陡直刻蚀
ICP / RIE 刻蚀
全品类介质刻蚀
金属干法刻蚀
高精度金属图形化刻蚀
IBE 离子束刻蚀
适用于难刻蚀材料
LPCVD / PECVD
AMAT 量产型 LPCVD
磁控溅射
高均匀性成膜
电子束蒸发
Optorun 光学镀膜机
PEALD 原子层沉积
三维共形覆盖
阳极键合
适用于 MEMS 封装
低温共晶键合
高气密性封装
Si-Si 直接键合
高温 / 常温工艺可选
引线键合 / 倒装贴片
倒装焊接系统
离子注入
快速退火 (RTA)
晶圆切割
砂轮切割
激光隐形划片
无损伤隐形切割
MOCVD 外延
VCSEL 外延片制备
SEM 扫描电镜
纳米级形貌表征
激光共聚焦显微镜
三维表面形貌测量
LIV 光谱测试
Cascade 高低温探针台
X 光缺陷检测
内部缺陷无损检测
核心设备集群
公司搭建六大类完整工艺设备集群，全部兼容 8 英寸及以下晶圆尺寸，覆盖刻蚀、光刻、镀膜、封装、检测、掺杂外延全工序
刻蚀设备集群
- STS 系列深硅刻蚀机
- 北方微电子 8 英寸深硅刻蚀
- SPTS 高深度陡直刻蚀设备
- 爱发科多材质 ICP 刻蚀机
- Lam Research 金属干法刻蚀系统
- IBE 离子束刻蚀设备
光刻设备集群
- NIKON G6 / I7 / I10 / I12 步进光刻机
- SUSS MA6 系列接触光刻机
- EVG 高精度对准光刻系统
- JEOL / Raith 电子束光刻机
- 紫外纳米压印设备
- 全自动涂胶显影机组
镀膜 / 封装 / 检测设备
- 牛津仪器 PECVD / AMAT LPCVD
- Optorun 专业光学镀膜机
- 磁控溅射台 / 电子束蒸发系统
- PEALD 原子层沉积设备
- 迪思科全自动晶圆切割机
- 德龙飞秒激光精细加工系统
- SUSS XB8 键合机 / WestBond 引线键合机
应用领域
赋能六大关键行业，面向高校、科研院所、工业制造、激光、通信、医疗企业
半导体与
光通信
VCSEL 激光芯片、无源衍射光学元件、硅基光波导、射频 MEMS、第三代半导体芯片
精密激光
加工
355/532/1064nm 激光匀化、分束 DOE 元件、微透镜阵列，适配工业激光设备
生物医疗与
体外诊断
硅微针透皮给药芯片、微流控核酸/细胞检测芯片、柔性可穿戴生物传感电极
工业传感与
物联网
压力、温湿度、气体、声学 MEMS 传感器、微热板检测器件、光电传感模组
高校与
科研院所
微纳原型器件、二维材料实验样品、光学微结构前沿课题科研打样
标准化客户服务流程
从需求对接到成品交付，六步闭环服务体系，确保品质与效率
需求深度对接
专业工艺工程师 24 小时响应对接需求
工艺可行性评估
出具完整工艺方案、周期排期、精准报价
保密协议签订
签署 NDA 技术保密协议，保护客户产权
定制化加工生产
封闭式洁净产线分区独立生产
多维度出厂检测
电学、光学、形貌、可靠性全项测试
成品交付与售后
独立密封物流交付，终身工艺技术答疑
关于苏州艾特光电
苏州艾特光电有限公司成立于 2020 年，坐落于苏州工业园区腾飞创新园。集自研光电子器件、全尺寸晶圆代工、MEMS 生物芯片定制、VCSEL 激光器委托加工于一体，已通过 ISO 9001 质量管理体系认证。
公司自建千级超净实验室，搭建完整 4/6/8 英寸配套研产生产线，核心团队深耕 MEMS、光学微纳加工十余年，兼具半导体工艺设计与衍射光学器件研发双重技术储备。面向高校、科研院所、工业制造、激光、通信、医疗企业，灵活提供单步工艺、分段流片、全流程定制代工服务。
理念与规划
创新，持续高质量发展
企业核心理念
创新，持续高质量发展
企业发展愿景
以微纳精密加工与光学核心技术为根基，打造国内领先、面向全球的光电子与 MEMS 芯片综合服务商；深度参与行业标准制定，推动国产微纳光电器件自主化、国际化、绿色低碳发展。
中长期发展规划
突破高深宽比刻蚀、纳米级光刻等核心工艺，实现衬底加工到终端成品一体化闭环服务，扩充标准化现货产品线，深耕国内同步拓展海外业务，打造绿色低碳微纳加工基地。